Systek™ SAP Copper

化学镀铜工艺,可沉积具有出色物理性能的化学镀铜层。

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产品概述

Systek SAP铜金属化工艺是一种适用于IC载板的高性能半加成法孔金属化工艺,具有多项工艺改进。该系统专为无覆铜积层基板的金属化种子层而设计,由一整套工艺化学组成,包括去污、预处理、活化和金属化工艺。为完成积层工艺,Systek SAP与Systek先进的二合一电镀技术兼容,同时填充铜微孔和电镀线路。Systek SAP的综合工艺改进可实现高密度电子线路,基板粗糙度很小,提高了层性能和可靠性。

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