产品概述
MICROFAB MP-2500 是一种为大型柱状应用而开发的高速镀铜工艺,可提供出色的芯片内(WID)和特征结构内(WIF,TIR)均匀性。
产品特性
适用于热柱应用的出色均匀性
MICROFAB Mp-2500 可实现高速电镀速率,生成高纯度凸块,具有出色的共面性,可提高可靠性。
提高产量和良率
MICROFAB MP-2500 可实现高产量,凸块形状平整,且具备低柯肯达尔空洞(KV)能力。
提升性能和可靠性
MICROFAB MP-2500 可实现 2.5D 和 3D 晶圆级扇出以及 PoP 技术的互连,确保热管理,实现高性能和可靠性。
特色应用
大铜柱
更小的外形尺寸和集成技术推动了对高度共面和平整特征的需求,以实现高可靠性和良率。