MICROFAB® SC-40

高速镀铜工艺,可实现平坦的凸块形状,适用于高速铜柱、铜柱凸块和凸块下金属层。

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产品概述

MICROFAB SC-40 是一款高速镀铜工艺,用于倒装芯片封装中的铜柱、3D互连封装中的铜微凸块以及再布线层。可确保精确的凸块高度均匀性和形状控制。

作为一款低应力解决方案,MICROFAB SC-40 工艺可产生平坦的凸块形状,并在晶圆内、芯片内和特征结构内具有出色的均匀性。与 MICROFAB SC 一脉相承,但增加了电镀速率更高的优势。

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