MICROFAB® AU660

弱碱性无氰电镀金工艺,适用于微机电系统,非常适合背面互连(过孔衬里)和细间距图形金凸块应用,具有良好覆盖性。

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产品概述

MICROFAB AU660 是一种高纯度(99.99%)电镀金工艺,专为微机电系统而开发。非常适用于背面互连(过孔衬里)和细间距金凸块制作,具有良好的台阶覆盖性(约为传统电镀金的两倍),同时保持高电镀速率(>0.5 µm/min)。MICROFAB AU660 支持场域薄化和成本效益型生产,成为先进微机电系统制造中金属化硅晶圆的可靠选择。

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