MICROFAB® AU660

一种弱碱性无氰电镀金工艺,适用于背面互连(过孔衬里)和细间距图形金凸块。

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产品概述

MICROFAB AU660 是一种高纯度(99.99%)电镀金工艺,常用于金属化硅晶圆上的凸块电镀。该工艺专为背面互连(过孔衬里)和细间距图形金凸块而开发,具有高电镀速率(>0.5 µm/min),台阶覆盖性约为传统镀金的两倍,有助于实现场域薄化并降低拥有成本。

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